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DL81/82高精度研磨拋光機(jī)，最大可兼容12英寸及以下樣品。研磨/拋光一體機(jī)的設(shè)計(jì)，可用于工藝研發(fā)和小批量生產(chǎn)中。 DL 系列是 Logitech 具有創(chuàng)新性的加工解決方案，是其最新高度自動(dòng)化的智能樣品制備系統(tǒng)。該系統(tǒng)提供對(duì) Logitech 智能氣動(dòng)夾具的動(dòng)態(tài)負(fù)載控制，能夠在廣泛的半導(dǎo)體應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)快速、可靠且高度精確的結(jié)果。
